氧化鋁拋光粉主要成分為α-Al2O3，而為了提高拋光效果，一般會在合成制備工序中加入分散劑，除此之外還有懸浮劑、潤滑劑、乳化劑等輔助成份。

氧化鋁微粉的結構形貌因用途而異，對于化學機械拋光應用的氧化鋁來說，目前常用的粉體形貌主要是球形和片狀，其主要原因是：

①當料漿中采用的氧化鋁為球形（尤其為超細粉）時，去除率高，拋光速度快，拋光面不易產生細微劃痕，光潔度高，可用于半導體單晶、石英晶體和精密光學器件等高精尖產品的加工。

②當料漿中使用的是片狀氧化鋁時，由于其具有良好的分散穩定性和平行排列性，可使片狀氧化鋁的上下表面基本平行于被拋光材料的表面，最大限度地避免了材料表面下的損傷，使拋光后的表面平滑如鏡，可用于陶瓷的拋光和光學顯微鏡之類的玻璃表面的拋光。

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